產(chǎn)品目錄 / Product catalog
當(dāng)您在使用RTP快速退火爐時(shí)，這些事項(xiàng)必須時(shí)刻注意！
更新時(shí)間：2022-07-20 點(diǎn)擊次數(shù)：3668
RTP快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產(chǎn)品表面光潔，不氧化，不脫碳。具有生產(chǎn)效率高，能耗低，污染少，操作使用方便，勞動(dòng)強(qiáng)度低等優(yōu)點(diǎn).也可供金屬材料釬焊，燒結(jié)之用。系引進(jìn)消化國(guó)外90年初產(chǎn)品。
RTP快速退火爐技術(shù)特點(diǎn)：
RTP快速退火爐廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)。和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長(zhǎng)、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中，通過(guò)快速熱處理以改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，具有技術(shù)指標(biāo)高、工藝復(fù)雜、性強(qiáng)的特點(diǎn)。
快速退火爐的使用注意事項(xiàng)：
1.爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2.爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。
3.冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5.爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6.爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否。
